一、主要配置
1）真空镀膜机腔体尺寸：2050X2000；
2）主泵：两台DZB550低温泵
二、工艺效果
空载：8min腔体真空度达进入10-4Pa；
负载：10min真空度达3×10-3Pa。
三、再生周期：一周
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海迈： 提供低温与真空系统解决方案 |
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冷氦循环装置： 提供氦气冷却及回收方案 |
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一、主要配置
1）真空镀膜机腔体尺寸：2050X2000；
2）主泵：两台DZB550低温泵
二、工艺效果
空载：8min腔体真空度达进入10-4Pa；
负载：10min真空度达3×10-3Pa。
三、再生周期：一周
